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产品详情
HRG200X是全自动高刚性双轴研磨机。可实现在短时间之内的无损加工。实现了低成本、高精度、镜面加工。
特征
规格
No | 类别 | HRG200X |
全自动高刚性双轴研磨机 | ||
1 | 设备尺寸和重量 | 尺寸: 1540(W) x 2050(D) x 2010(H) mm |
重量 : 4500 kg | ||
4 | 晶圆尺寸(mm) | 200 |
5 | 磨轮直径(mm) | 250 |
6 | 主轴转速(rpm) | Max. 3,600 |
7 | 工作台转速(rpm) | Max. 800 |
8 | 主轴功率(kW) | 6.3 |
9 | 单片总厚度偏差 : TTV(μm) | 1 |
10 | 片与片厚度偏差 : WTW(μm) | ±1 |