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产品详情
HRG300 既可以对大尺寸晶圆(300 mm)进行单 枚加工,也可以对小直径工件进行多枚同时加工。
特征
规格
NO. | 项目 | HRG300 |
高刚性研磨机 | ||
1 | 外形尺寸和重量 | 尺寸:1540(W)X1880(D)X2010(H)重量:3700kg |
2 | 加工直径(mm) | 300 |
3 | 磨轮直径(mm) | 300 |
4 | 磨轮转速(rpm) | 3600 |
5 | 工作台转速(rpm) | 400 |
6 | 主轴功率(Kw) | 11 |
7 | 工作台功率(Kw) | 2 |
8 | 全自动监测 | 实时测量治具(支持多片同时加工) |
9 | 研磨精度(μm) | 0.1 |