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产品详情
全自动高刚性三轴研磨机,可实现快速无损伤加工。 加工成本低，加工精度高，实现镜面加工。
特征
规格
| No | 类别 | HRG3000X |
| 全自动高刚性三轴研磨机 | ||
| 1 | 外观 | 尺寸: 1750 (W) x 3525 (D) x 1978 (H) mm |
| 重量：11000 kg | ||
| 2 | 晶圆尺寸 (mm) | 300 |
| 3 | 磨轮直径 (mm) | 300 |
| 4 | 磨轮转速(rpm) | 3600 |
| 5 | 工作台转速(rpm) | 650 |
| 6 | 磨轮主轴功率(kw) | 11 |
| 7 | 单片总厚度偏差: TTV (μm) | 0.5 (带自动TTV功能) |
| 8 | 片与片厚度偏差: WTW (μm) | ±0.5 (带自动TTV功能) |
| No | 类别 | RM3000-HRG |
| 1 | 外观 | 尺寸: 1500 (W) x 4250 (D) x 1800 (H) mm |
| 重量：1600 kg | ||
| 2 | 晶圆尺寸 (mm) | 300 |
| 3 | 切割胶膜直径 (mm) | φ 230 (单卷宽度430 mm) |
| 4 | 揭膜胶带直径 (mm) | φ 200 (单卷宽度 50 mm) |
| 5 | 晶圆贴膜精度 | 对工作台盘中心精度在 0.5 mm以内对框架缺口的角度偏差0.5 度以内 |
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