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当前产品晶圆水平电镀设备
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产品详情
-水平式电镀腔体,无交叉感染
-支持单腔体维护,提高设备正常运作时间
- 具备预湿腔体和清洗功能
高度均匀性:WiW≤5%,WtW≤5%, RtR≤5%
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