
1. 解析度:X、Y軸光學尺解析度1um
2. 有效最小單位:0.001mm
3. 機械重複精度:±0.0025mm
4. 量測精度:±0.005mm
5. 移動速度:250 mm/秒
6. 量測速度:0.5秒/點
7. X線管輸出:管電壓 100KV、管電流 0.1mA
8. X線泄漏量:0.5u SV/n機台表面
9. CCD攝像機:2/3英寸
10. 影像視野:8.8mm × 6.6mm
11. 光源冷卻方式:自然空冷
12. 基板檢查厚度:10 mm以下
13. 材質:能透視軟X線電木
14. 焦點尺寸:5um
15. 走查線:水平800根以上、垂直350根以上
16. 安全機構:採用X線TWO BUS以及防護CASE進行防護
17. 量測範圍: X軸 1100mm x Y軸650mm
18. 量测平台:1300mm*700mm
19. 外型尺寸:L 2375 MM X W 2080 MM X H 1720 MM.
20. 機台重量:3500±200 kg
21. 量測平台可承載重量:25kg以下