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产品详情
射流低温等离子处理机 TFR02-PL-3200
| 整机规格:980mm(W)×900mm(D)×1620mm(H) |
| 电极规格:6层平板式电极板(420mm×360mm) |
| 电源系统:13.56MHz等离子体发生源(500W,全自动阻抗匹配) |
| 控制系统:触摸屏+PLC自动控制 |
| 进气系统:2-5路工作气体可选:Ar2、N2、H2、CF4、O2 |
特点:高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持。
用途:适用于LED、LCD、SMT领域,半导体IC领域,硅胶、塑胶、聚合体领域,汽车电子行业等。
★LED、LCD、SMT领域:LED打线、IC封装前的清洗,LCD制造工艺中清洗偏光片、
排线基位,电子元器件、光学元器件表面的清洗。
★硅胶、塑胶、聚合体领域:硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。